氧化鋯陶瓷材料優(yōu)良機械性能使其在微機電系統(tǒng)中有廣闊的應(yīng)用前景。采用微細切削加工方法在陶瓷生胚上加三維結(jié)構(gòu),即可提高加工效率,又可以降低成本.是很有前景的加工方法。
在氧化鋯陶瓷生胚上微細結(jié)構(gòu)加工邊中尺寸精度的控制問題。氧化鋯陶瓷生坯通過壓力使粉末成型并具備一定強度,用三點抗彎實驗測定了不同壓制壓力下的坯抗抗彎強度,得到了抗彎強度與壓制壓力的關(guān)系隨著壓制壓力的增加,坯體的強度也在增加,并且基本呈線性變化。
通過比較微結(jié)判斷氧化鋯陶瓷加工質(zhì)量的好壞結(jié)果表明氧化鋯陶瓷坯體強度越大,氧化鋯陶瓷加工質(zhì)量越好。氧化鋯陶瓷生胚在燒結(jié)后會出現(xiàn)一定的體積收縮,壓力下壓制的生胚收縮率變化。同一壓力下.氧化鋯陶瓷胚體x向和Y向收縮率一致,井且不同高度處的xY向收縮率無明顯差異。隨著壓力的增加,x、Y、z向收縮率逐漸減少,z向收縮率對壓力更敏感。
氧化鋯陶瓷為得到尺寸正確的微細結(jié)構(gòu),究影響尺寸精度的因素,重點在z自R寸的控制。加工系統(tǒng)軸向變形量,得到了一定加工參數(shù)下軸向加工力的變化規(guī)律和系統(tǒng)的剛度,確定了系統(tǒng)的軸向變型量。
加工刀具磨損規(guī)律
刀具在初期磨損階段和正常磨損階段的相對體積損耗率,并推出了計算刀具軸向損耗量的經(jīng)驗公式。最后對系統(tǒng)軸自變形量、刀具磨損量、收縮事進行補償,在生胚上加工微小型腔,結(jié)果表明加工及燒成尺寸與目標尺寸基本致,生胚工后z向最大絕對偏差l.4mm,致密化燒結(jié)后,z向最大絕對偏差3.8mm表明所采用的補償方法可以有效控制z向尺寸。
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本文“氧化鋯陶瓷加工刀具磨損規(guī)律”由科眾陶瓷編輯整理,修訂時間:2022-12-17 09:52:55
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